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下村研究室は光集積回路実現に関する研究を行っています。
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下村研究室
〒102-8554 東京都千代田区紀尾井町7-1
4号館276A室
結晶成長
CRYSTAL GROWTH
有機金属気相成長装置(エピクエスト)
装置概観
リアクタ
操作パネル
ガス制御系
ロードロック室
搬送系パネル
オゾンクリーナ(サムコ)
ヘリウムリークディテクタ(東日本アルバック)
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