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下村研究室は光集積回路実現に関する研究を行っています。
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下村研究室
〒102-8554 東京都千代田区紀尾井町７－１
４号館２７６A室
デバイス設計・マスク作製
DESIGN, BPM, MASK,CAD
ビーム伝搬法による解析例
BPM-CAD(Rsoft)
電子ビーム露光装置
コンソールJSM-5300(日本電子)
鏡筒
BeamDRAW (東京テクノロジー)
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