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下村研究室は光集積回路実現に関する研究を行っています。   ▷English

〒102-8554 東京都千代田区紀尾井町7-1
4号館276A室

In自己触媒ナノワイヤIn SELF-CATALYST NANOWIRE

Au触媒を用いたVLS成長は、III-V族化合物半導体ナノワイヤ中へのAu金属の混入によって光学特性の劣化や移動度の低下などが懸念されます。 これに対してナノワイヤを構成するIII族元素を触媒としてIII-V族化合物半導体ナノワイヤを成長させるのが自己触媒VLS成長機構です。 われわれは成長中にIn微粒子を形成し、このIn微粒子を触媒としてInP(111)B基板上にInPナノワイヤを成長する技術の開発を行っています。



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